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磁控溅射镀膜过程中，薄膜沉积速率为什么会越来越慢？
磁控溅射镀膜过程中，薄膜沉积速率为什么会越来越慢？
2025-05-18 19:20:02
推荐回答（1个）
回答1：
你好，成膜慢和电源的输出功率大小有关，也和炉内真空度有关，我做维修磁控镀膜机多年，基本就这些因数影响
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