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金属靶材被溅射出来的都有什么粒子？原子还是阳离子？
金属靶材被溅射出来的都有什么粒子？原子还是阳离子？
Ar真空中溅射纯金属靶材，溅射出来的是金属原子还是离子？
2025-05-20 21:27:44
推荐回答（1个）
回答1：
完全可以做平板电容的电极和介质，溅射镀膜是很可控的薄膜，多以可以做高档电容
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