抛光工作环境最怕产生粉尘，这样的环境容易导致矽肺病，即肺硬化。但硅片抛光应该会喷水抛光，否则硅半导体就没用了，因此这样产生的粉尘少，工作环境还算马马虎虎；但难免没有粉尘漂浮，干久了仍然有问题。硅片抛光另的毒害倒是没有。
