半导体真空设备中5E-6 Torr是多少?其中5代表什么意思?

半导体真空设备中5E-6 Torr是多少?其中5代表什么意思?
2025-05-17 10:15:34
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回答1:

1 Torr≈133.322 Pa=1.33322*10^-4MPa (兆帕)
Torr:
压强单位,以前翻译为“乇”现翻译为“托”。
原本的 1 Torr 是指“将幼细直管内的水银顶高一毫米之压力”,而正常之大气压力可以将水银升高 760 mm ,故此将1Torr定为大气压力的 1/760 倍。

所以
5 E-6 Torr ≈ 666.61 E-6 Pa =6.6661 E-3 mPa (毫帕!不是兆帕)
5就是被乘数 ,E-6 是乘数,是10^-6。